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Produkte / Durchfluss / Massendurchflussmesser/-regler, thermisches Prinzip
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BROOKS ® Serie 5850 - 5864 E
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Thermische Massedurchflussmessung/ -regelung für Gase,
Modelle 5850E - 5863E
Die Serie "E" der (analogen) Massedurchflussmesser und -regler sind
hauptsächlichfür Anwendungenzur Gas-Verhältnisregelung in Forschung
und Industrie konzipiert. Andere erfolgreiche Anwendungsgebiete sind
Aufdampfungsprozesse (CVD), Plasmatechnik, Diffusion,Spritzprozesse
oder andere Aufgaben in der Halbleiterindustrie (hierfür stehen auch ultra
reine Geräte zur Verfügung)
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Baureihe 5850 bis 5863E
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Massedurchfluss
-Regler
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Massedurchfluss
-Messer
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Durchflussbereiche (Werte für Luft)
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Durchflussbereiche (Werte für Luft)
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Modell
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Modell
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kleinster
Messbereichsendwert
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größterer
Messbereichsendwert
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Einheit
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5850E
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5860E
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0,003
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30
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In/min
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5851E
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5861E
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20
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100
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In/min
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5853E
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5863E
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100
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1000
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In/min
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Technische Daten
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Leistungsmerkmale
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Genauigkeit
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± 1 % vom Endwert, einschließlich Linearität
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Reproduzierbarkeit
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± 0,25 % vom Endwert
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Mess- und Regelspanne
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50 : 1
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Ansprechzeit
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Einschwingzeit auf 2 % des Endwertes von Genauigkeiten weniger als 3 sek
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Temperaturstabilität
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Nullpunktdrift:weniger als ± 0,075 % vom Endwert pro °C Spanne: Verschiebung von weniger als ± 1,0 % im Temperaturbereich
von 10 - 50 °C
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Elektrische Daten
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Leistungsmerkmale
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Zertifizierung:
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CE-Zertifiziert
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Zertifizierung:
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+/- 15 Vdc
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Spannungsversorgung:
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0-5 Vdc, max. 2000 Ohm
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Mechanische Daten
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Leistungsmerkmale
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Genauigkeit
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± 1 % vom Endwert, einschließlich Linearität
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Reproduzierbarkeit
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± 0,25 % vom Endwert
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Mess- und Regelspanne
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50 : 1
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Ansprechzeit
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Einschwingzeit auf 2 % des Endwertes von Genauigkeiten weniger als 3 sek
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Temperaturstabilität
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Nullpunktdrift weniger als ± 0,075 % vom Endwert pro °C
Spanne: Verschiebung von weniger als ± 1,0 % im Temperaturbereich von 10 - 50 °C
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Einsatzgrenzen
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Leistungsmerkmale
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max. Betriebsdruck:
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100 bar in Kombination mit einem normal öffnenden oder schließenden Ventil, 300 bar bei Verwendung der Hochdruckversion (Modelle 5860 und 5861)
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Temparatur
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0 - 65 °C
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Leckrate:1 x 10(-9) mbar.
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l/sek. Helium
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